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An Experimental and Computational Study on the Synergistic Effect of AEO-9/ADBS Composite Surfactant in Silicon CMP Slurry
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作者
Yi Xing,
Weili Liu,
Zhitang Song
出处
期刊：
Silicon
[Springer Science+Business Media]
日期：2025-11-23
卷期号：17 (18): 4557-4569
标识
DOI：10.1007/s12633-025-03510-5
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