An Experimental and Computational Study on the Synergistic Effect of AEO-9/ADBS Composite Surfactant in Silicon CMP Slurry

材料科学 肺表面活性物质 泥浆 吸附 润湿 薄脆饼 腐蚀 化学工程 化学机械平面化 表面粗糙度 复合数 复合材料 分子 表面能 表面光洁度 中心组合设计 朗缪尔吸附模型 抛光 朗缪尔 纳米技术 分子动力学 工作(物理) 水溶液
作者
Yi Xing,Weili Liu,Zhitang Song
出处
期刊:Silicon [Springer Science+Business Media]
卷期号:17 (18): 4557-4569
标识
DOI:10.1007/s12633-025-03510-5

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