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Investigation of MOCVD grown crack-free 4 μm thick aluminum nitride using nitrogen as a carrier gas 相关领域
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期刊:MRS Advances 作者:Samiul Hasan; Abdullah Mamun; Kamal Hussain; Dhruvinkumar Patel; Mikhail Gaevski; et al 出版日期:2021-05-25 |
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