| 标题 |
  Effect of N doping on the microstructure and dry etch properties of amorphous carbon deposited with a DC sputtering system 氮掺杂对直流溅射非晶碳显微结构和干法刻蚀性能的影响
相关领域
微观结构
材料科学
溅射
无定形碳
碳纤维
无定形固体
兴奋剂
蚀刻（微加工）
化学工程
半导体
干法蚀刻
氮气
纳米技术
光电子学
冶金
复合材料
薄膜
化学
结晶学
有机化学
工程类
复合数
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：RSC Advances 作者：Sung‐Tae Kim; Minwoo Jeong; Kuntae Kim; Ung-gi Kim; Miyoung Kim; et al 出版日期：2023-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
斯寜
kento
cdercder
eee
MchemG
HEIKU
随遇而安
andrele
单薄天宇
归尘
bc
827584450
jyy
非而者厚
竹筏过海
从容芮
平常的毛豆
地表飞猪
YifanWang
今天只做一件事
皖公网安备34019202002308
