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  Reducing the oxygen vacancy concentration in SrTiO3-δ thin films via an optimized O2 plasma treatment for enhancing device properties 通过优化的O2等离子体处理降低SrTiO3-δ薄膜中的氧空位浓度以提高器件性能
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期刊：Applied Surface Science 作者：Ji-Yeop Kim; Mi‐Jin Jin; Bo Hou; Minsoo P. Kim; Doo‐Seung Um; et al 出版日期：2023-08-16 |
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