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标题
Stable polysiloxane resins for silicon-containing anti-reflective coatings
相关领域
硅 材料科学 高分子科学 复合材料 冶金
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.24.2.024601
DOI
10.1117/1.jmm.24.2.024601 doi
其它 期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
作者：Ying Lü; Peng Dong; Tianhao Li; Jian‐Quan Weng; Yujie Song
出版日期：2025-06-27
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怕孤单的迎天 在 2025-10-31 16:04:11 发布自广东，悬赏 20 积分
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