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Stable polysiloxane resins for silicon-containing anti-reflective coatings
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作者
Ying Lü,
Peng Dong,
Tianhao Li,
Jian‐Quan Weng,
Yujie Song
出处
期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
[SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2025-06-27
卷期号：24 (02)
标识
DOI：10.1117/1.jmm.24.2.024601
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