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 Sensitivity characteristics of a wave height sensor based on a MEMS piezoresistive cantilever and waterproof film 基于MEMS压阻悬臂和防水膜的波高传感器灵敏度特性
相关领域
压阻效应
悬臂梁
灵敏度（控制系统）
微电子机械系统
材料科学
光电子学
声学
复合材料
电子工程
物理
工程类
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| 其它 |
期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Takuto Hirayama; Hidetoshi Takahashi 出版日期：2024-01-25 |
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