Mechanism of Tungsten Atom Formation in Tungsten Etchback Using SF 6/Ar Helicon Plasma

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标题	Mechanism of Tungsten Atom Formation in Tungsten Etchback Using SF 6/Ar Helicon Plasma SF6/Ar螺旋等离子体钨回蚀中钨原子的形成机理相关领域钨螺旋材料科学溅射等离子体氩分析化学（期刊）原子物理学化学冶金薄膜纳米技术物理量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1149/1.1837834
DOI	10.1149/1.1837834 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Chang Ju Choi; Yeo Song Seol; Osung Kwon; Ki‐Ho Baik 出版日期：1997-07-01
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