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标题
Ion-Implantation Technology and Device Applications
离子注入技术及器件应用
相关领域
离子注入 可控性 材料科学 半导体 兴奋剂 半导体器件制造 半导体器件 再现性 离子 杂质 光电子学 工程物理 纳米技术 工程类 化学 薄脆饼 图层(电子) 有机化学 色谱法 数学 应用数学
网址
DOI
10.1109/tphp.1974.1134869 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Parts Hybrids and Packaging
作者:J. Comas
出版日期:1974-12-01
求助人
Reina 在 2025-08-11 13:47:30 发布自山东,悬赏 10 积分
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