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 Effect of synergetic inhibition of nonionic surfactant and benzotriazone for molybdenum in chemical mechanical polishing 相关领域
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期刊：Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects 作者：Pengfei Wu; Baoguo Zhang; Ye Wang; Mengchen Xie; Shitong Liu; et al 出版日期：2023-02-22 |
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