Numerical simulation of plasma in a 915 MHz MPCVD reactor using a simplified 2D structure

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标题	Numerical simulation of plasma in a 915 MHz MPCVD reactor using a simplified 2D structure
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2026.115159
DOI	10.1016/j.vacuum.2026.115159 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Xue Liu; Cuiting Zhang; Xianyi Lv; Qiliang Wang; Liuan Li; et al 出版日期：2026-02-05
求助人	sc 在 2026-09-11 14:49:28 发布自四川，悬赏 10 积分
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