MF-ILT: efficient gradient-driven inverse lithography technology with multi-scale adaptation and frequency-domain segmentation synergy

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标题	MF-ILT: efficient gradient-driven inverse lithography technology with multi-scale adaptation and frequency-domain segmentation synergy
网址	https://doi.org/10.1117/1.JMM.25.2.023202
DOI	10.1117/1.JMM.25.2.023202 doi
其它	期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Tao Wang; Hui Xu; Peng Hang; Yunhong Huo; Guoshuai Wang; et al 出版日期：2026-04-30
求助人	jun 在 2026-08-11 10:24:05 发布自安徽，悬赏 20 积分
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