Enhanced travel range bipolar tri-electrode electrostatic actuator using extended background electrode

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标题	Enhanced travel range bipolar tri-electrode electrostatic actuator using extended background electrode
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2607847
DOI	10.1117/12.2607847 doi
其它	期刊：MOEMS and Miniaturized Systems XXI 作者：Mehdi Allameh; Byoungyoul Park; Cyrus Shafai 出版日期：2022-03-02
求助人	2052669099 在 2026-07-10 21:46:37 发布自河南，悬赏 20 积分
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Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

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