Self-aligned double patterning for active trim contacts with anisotropic pattern pitches in sub-20 nm dynamic random access memories

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标题	Self-aligned double patterning for active trim contacts with anisotropic pattern pitches in sub-20 nm dynamic random access memories
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/journalArticle/Download?u...
DOI	10.1117/1.jmm.18.4.040501 doi
其它	期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems 作者：Kiseok Lee; Kim Dong-Oh; C. Yoon; Taejin Park; Han Sung-hee; et al 出版日期：2019-12-18
求助人	zzc 在 2026-08-16 22:28:35 发布自中国，悬赏 20 积分
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