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标题
Thermal Stability of the Ferroelectric Properties in 100 nm-Thick Al0.72Sc0.28N
网址
DOI
10.1021/acsami.2c18313 doi
其它 期刊:ACS Applied Materials & Interfaces
作者:Roberto Guido; Patrick D. Lomenzo; Md Redwanul Islam; Niklas Wolff; Maike Gremmel; et al
出版日期:2023-01-30
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