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标题
Synthesis and Analysis of SiBCN Films Obtained by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Triethylaminoborane, Hexamethyldisilazane, and Ammonia
三乙氨基硼烷、六甲基二硅氮烷和氨等离子体增强化学气相沉积SiBCN薄膜的合成与分析
相关领域
氨 化学气相沉积 固体物理学 等离子体 沉积（地质） 材料科学 化学工程 化学 环境化学 纳米技术 有机化学 工程类 地质学 物理 古生物学 沉积物 量子力学 凝聚态物理
网址
http://dx.doi.org/10.1134/s002247662408002x
DOI
10.1134/s002247662408002x doi
求助人
飞飞飞想要飞高高 在 2025-12-07 17:32:13 发布自福建，悬赏 10 积分
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