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Synthesis and Analysis of SiBCN Films Obtained by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition from Triethylaminoborane, Hexamethyldisilazane, and Ammonia

氨 化学气相沉积 固体物理学 等离子体 沉积（地质） 材料科学 化学工程 化学 环境化学 纳米技术 有机化学 工程类 地质学 物理 古生物学 沉积物 量子力学 凝聚态物理
作者
Е. N. Ermakova,E. A. Maksimovsky,А. Д. Федоренко,A. A. Shapovalova,E. A. Khizhnyak,M. L. Kosinova
出处
期刊：Journal of Structural Chemistry [Springer Nature]
日期：2024-08-01 卷期号：65 (8): 1488-1501
标识
DOI：10.1134/s002247662408002x
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