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Enhanced field-effect mobility (>250 cm2/V·s) in GaN MOSFETs with deposited gate oxides via mist CVD 通过雾化CVD沉积栅极氧化物的GaN MOSFET中增强的场效应迁移率(>250cm2/V·s)
相关领域
雾
材料科学
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MOSFET
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期刊:Applied Physics Express 作者:Kazuki Ikeyama; Hidemoto Tomita; Sayaka Harada; Takashi Okawa; Li Liu; et al 出版日期:2024-05-17 |
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