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 A GPU-based full-chip inverse lithography solution for random patterns 基于GPU的随机图形全芯片逆光刻解决方案
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期刊：Proceedings of SPIE 作者：Ilhami Torunoglu; Ahmet Karakaş; Erich Elsen; Curtis Andrus; Brandon Bremen; et al 出版日期：2010-03-11 |
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