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标题
Selective etching of AlGaInP laser structures in a BCl3/Cl2inductively coupled plasma
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网址
https://doi.org/10.1088/0268-1242/21/4/017
AI链接 ac.ukdoi.org
DOI
10.1088/0268-1242/21/4/017 doi
其它 期刊：Semiconductor Science and Technology
作者：Gareth Edwards; D.I. Westwood; Peter M. Smowton
出版日期：2006-03-07
求助人
研友_LJemK8 在 2026-01-04 22:09:24 发布自山东，悬赏 10 积分
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