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标题
In Situ Synchrotron XRD Characterization of Piezoelectric Al1−xScxN Thin Films for MEMS Applications
MEMS压电Al1-xScxN薄膜的原位同步辐射XRD表征
相关领域
材料科学 表征(材料科学) 同步加速器 原位 微电子机械系统 压电 薄膜 复合材料 纳米技术 光学 化学 物理 有机化学
网址
DOI
10.3390/ma16051781 doi
其它 期刊:Materials
作者:Wenzheng Jiang; Lei Zhu; Lingli Chen; Yumeng Yang; Xi Yu; et al
出版日期:2023-02-21
求助人
健忘叫兽 在 2025-12-06 15:30:47 发布自江苏,悬赏 10 积分
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