Design of ceria grafted mesoporous silica composite particles for high-efficiency and damage-free oxide chemical mechanical polishing

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标题	Design of ceria grafted mesoporous silica composite particles for high-efficiency and damage-free oxide chemical mechanical polishing 高效无损伤氧化物化学机械抛光用氧化铈接枝介孔二氧化硅复合粒子的设计相关领域材料科学化学机械平面化 X射线光电子能谱扫描电子显微镜复合数抛光复合材料介孔二氧化硅表面粗糙度磨料氧化物化学工程介孔材料冶金化学催化作用工程类生物化学
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092583881...
DOI	10.1016/j.jallcom.2017.11.112 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Yang Chen; Changzhi Zuo; Zefeng Li; Ailian Chen 出版日期：2017-11-10
求助人	177希希在 2025-05-13 15:32:52 发布自江苏，悬赏 10 积分
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