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 Non-destructive measurement of bottom width in deep trench isolation structures using IRCD metrology 基于IRCD计量的深沟隔离结构底部宽度的无损测量
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期刊： 作者：Nick Keller; Marc Poulingue; Ross Grynko; Troy Ribaudo; G. A. Antonelli; et al 出版日期：2024-04-10 |
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