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![]() 用于化学机械抛光的尿素缩合CeO2纳米粒子的合成
相关领域
材料科学
化学工程
纳米颗粒
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化学机械平面化
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泥浆
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分散性
尿素
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化学
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期刊:Electronic Materials Letters 作者:Zhenyang Wang; Tongqing Wang; Lifei Zhang; Xinchun Lu 出版日期:2023-04-10 |
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