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 Enhanced adsorption purification of fluoromethane electronic gas using carbon adsorbent with rich ultramicroporosity 富超微孔碳吸附剂强化吸附净化氟甲烷电子气体
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期刊：Chemical Engineering Science 作者：Wei Xuan; Shengjun Du; Jiawu Huang; Junjie Peng; Jiunn Der Liao; et al 出版日期：2024-05-01 |
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