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 Investigation of Polarity Reversal of Bilayer AlN/Sc0.2Al0.8N Films and Its Influence on Film Bulk Acoustic Resonators 双层AlN/Sc0.2Al0.8N薄膜极性反转及其对薄膜体声谐振器影响的研究
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期刊：Small Methods 作者：Yupeng Zheng; Tingting Yang; Binghui Lin; Xiaoming Huang; Qinwen Xu; et al 出版日期：2025-06-20 |
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