Atomic Layer Deposition for the Conformal Coating of Nanoporous Materials

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标题	Atomic Layer Deposition for the Conformal Coating of Nanoporous Materials
网址	https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/c...
DOI	10.1557/proc-876-r12.6 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：Jeffrey W. Elam; Guang Xiong; Catherine Y. Han; H. Hau Wang; James P. Birrell; et al 出版日期：2017-06-09
求助人	xiaogua 在 2026-10-14 19:54:12 发布自江苏，悬赏 10 积分
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