ZERODUR as low-thermal-expansion material in EUV photomask-blank substrates

已完结

文献求助详情

标题	ZERODUR as low-thermal-expansion material in EUV photomask-blank substrates
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI	10.1117/12.3119279 doi
其它	期刊：Photomask Japan 作者：Florian Kanal; Ina Mitra; R. Jedamzik; C. Kunisch; Janina Krieg; et al 出版日期：2026-09-23
求助人	aa3294 在 2026-10-11 20:46:36 发布自北京，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: ssa7742发布了新的文献求助10

4秒前; 从容棉花糖完成签到，获得积分10

11秒前; 学霸业上传了应助文件

33秒前; 大气的夜雪完成签到，获得积分10

38秒前; 领导范儿上传了应助文件

41秒前; 汉堡包上传了应助文件

42秒前; 嘻嘻哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

43秒前; 嘻嘻哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

43秒前; 嘻嘻哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

43秒前; 平常迎天的应助被科研通管家采纳，获得50

43秒前; 小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10

43秒前; 万能图书馆的应助被科研通管家采纳，获得30

43秒前; tl2333发布了新的文献求助10

46秒前; 冷傲的擎发布了新的文献求助10

46秒前; 飞快的乘风完成签到，获得积分10

48秒前; 大模型上传了应助文件

49秒前; Jasper上传了应助文件

55秒前; 设置昵称发布了新的文献求助10

55秒前; 幻闫昼发布了新的文献求助10

1分钟前; 设置昵称完成签到，获得积分10

1分钟前; 伯云完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被田勇采纳，获得10

1分钟前; 淡然雅彤完成签到，获得积分10

1分钟前; 鲜艳的雪曼完成签到，获得积分10

1分钟前; 香蕉觅云的应助被为常采纳，获得10

1分钟前; chen完成签到，获得积分10

2分钟前; 香蕉觅云上传了应助文件

2分钟前; 为常发布了新的文献求助10

2分钟前; 852上传了应助文件

2分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

2分钟前; 张含静发布了新的文献求助10

2分钟前; 田勇发布了新的文献求助10

2分钟前; 天天快乐的应助被张含静采纳，获得10

2分钟前; 花痴的青筠上传了应助文件

2分钟前; 汉堡包上传了应助文件

2分钟前; 嘻嘻哈哈发布了新的文献求助10

2分钟前; 光亮的成败完成签到，获得积分10

2分钟前; 且行丶且努力完成签到，获得积分10

2分钟前; 嘻嘻哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; crystal完成签到，获得积分10

2分钟前