Effects of Bias Pulsing on Etching of SiO2 Pattern in Capacitively-Coupled Plasmas for Nano-Scale Patterning of Multi-Level Hard Masks

已完结

文献求助详情

标题	[高分] Effects of Bias Pulsing on Etching of SiO2 Pattern in Capacitively-Coupled Plasmas for Nano-Scale Patterning of Multi-Level Hard Masks
网址	http://dx.doi.org/10.1166/jnn.2016.12232
DOI	10.1166/jnn.2016.12232 doi
其它	期刊：Journal of Nanoscience and Nanotechnology 作者：Sechan Kim; Gyuhyun Choi; Heeyeop Chae; Nae-Eung Lee 出版日期：2016-05-01
求助人	乔治哇在 2026-10-07 21:35:36 发布自四川，悬赏 150 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

National Center for Biotechnology Information

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 悲凉的雁芙完成签到，获得积分10

1秒前; 传奇3的应助被科研通管家采纳，获得10

4秒前; 今后的应助被科研通管家采纳，获得10

4秒前; 林狗上传了应助文件

6秒前; TYW完成签到，获得积分10

6秒前; 李爱国上传了应助文件

10秒前; 坚定的咖啡完成签到，获得积分10

12秒前; 悦耳破茧完成签到，获得积分10

13秒前; 卤蛋发臭了关闭了卤蛋发臭了的文献求助

14秒前; 迷你的友卉发布了新的文献求助10

16秒前; 李文岐发布了新的文献求助20

17秒前; 彭于晏的应助被jing122061采纳，获得10

26秒前; 飘逸的手套完成签到，获得积分10

33秒前; 科研通AI6.4的应助被kwi采纳，获得10

33秒前; cc完成签到，获得积分10

34秒前; 逍遥上传了应助文件

35秒前; 美满的夏山完成签到，获得积分10

39秒前; DIVINEDC的应助被BIGDUCK采纳，获得10

40秒前; molihuakai的应助被BIGDUCK采纳，获得10

40秒前; 科研通AI6.4的应助被BIGDUCK采纳，获得10

41秒前; 搜集达人上传了应助文件

42秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

42秒前; 休斯顿完成签到，获得积分10

43秒前; 神勇映雁上传了应助文件

45秒前; 拿云发布了新的文献求助10

48秒前; 科研通AI6.4的应助被偶尔躲躲乌云采纳，获得10

50秒前; kwi发布了新的文献求助10

50秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

55秒前; 懵懂的莺完成签到，获得积分10

58秒前; 飘逸的手套发布了新的文献求助10

1分钟前; 11111完成签到，获得积分10

1分钟前; amorfati上传了应助文件

1分钟前; 靓丽雪萍完成签到，获得积分10

1分钟前; amorfati上传了应助文件

1分钟前; 桐桐的应助被kwi采纳，获得10

1分钟前; amorfati上传了应助文件

1分钟前; 李忆梦完成签到，获得积分10

1分钟前; 初景上传了应助文件

1分钟前; 桐桐上传了应助文件

1分钟前; ytytb完成签到，获得积分10

1分钟前