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[求助补充材料] Three-dimensional silicon-integrated capacitor with unprecedented areal capacitance for on-chip energy storage
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电容器 材料科学 电容 光电子学 超级电容器 储能 电介质 电压 电气工程 炸薯条 硅 集成电路 功率(物理) 工程类 物理 电极 量子力学
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DOI
10.1016/j.nanoen.2019.104281 doi
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