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 Improving film thickness uniformity on curved substrates via planar and cylindrical magnetron sputtering: Simulation and experimental validation 相关领域
材料科学
溅射沉积
平面的
腔磁控管
光学
沉积（地质）
表面粗糙度
表面光洁度
薄膜
蒙特卡罗方法
光电子学
中子
复合材料
过程（计算）
溅射
基质（水族馆）
缩放比例
中子成像
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期刊：Vacuum 作者：Ravit Pulyani; Simran Atwal; S.K. Ghosh; D. Bhattacharyya; A. Biswas 出版日期：2026-07-01 |
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