Correlation between mechanical and microstructural properties of molybdenum nitride thin films deposited on silicon by reactive R.F. magnetron discharge

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标题	Correlation between mechanical and microstructural properties of molybdenum nitride thin films deposited on silicon by reactive R.F. magnetron discharge
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.10.028
DOI	10.1016/j.surfcoat.2017.10.028 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：B. Bouaouina; A. Besnard; S.E. Abaidia; A. Airoudj; F. Bensouici 出版日期：2018-01-01
求助人	zzs 在 2026-11-06 11:45:42 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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