Oxygen plasma etching of thick polymer layers

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标题	[求助补充材料] Oxygen plasma etching of thick polymer layers
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvst/article-pdf/19/3/743/11749661/...
DOI	10.1116/1.571143 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：I. S. Goldstein; F. Kalk 出版日期：2002-07-27
求助人	YY 在 2026-03-03 16:55:24 发布自英国，悬赏 20 积分
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