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 Chemical-mechanical polishing performance of core-shell structured polystyrene@ceria/nanodiamond ternary abrasives on sapphire wafer 相关领域
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期刊：Ceramics International 作者：Zhou Chen; Xiangyang Xu; Lei Dai; Haiming Gong; Shun‐Tian Lin 出版日期：2021-08-06 |
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