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 Towards high NA patterning readiness: materials, processes and etch transfer for P24 Line Space 相关领域
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期刊： 作者：Ndeye Thiam; Jara G. Santaclara; Joern-Holger Franke; Filip Schleicher; Romuald Blanc; et al 出版日期：2021-09-28 |
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