Pulsed CVD-W Nucleation Layer Using WF[sub 6] and B[sub 2]H[sub 6] for Low Resistivity W

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标题	Pulsed CVD-W Nucleation Layer Using WF[sub 6] and B[sub 2]H[sub 6] for Low Resistivity W
网址	https://syndication.highwire.org/content/doi/10.1149/1.31554...
DOI	10.1149/1.3155430 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Choon-Hwan Kim; Il-Cheol Rho; Soo-Hyun Kim; Il-Keoun Han; Hyo-Sang Kang; et al 出版日期：2009-07-25
求助人	LiuWenyuan 在 2026-06-01 21:53:07 发布自江苏，悬赏 10 积分
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