面向光刻机浸没系统设计的介观尺度流场扰动解析与抑制方法研究

已关闭

文献求助详情

标题	[高分] 学位论文面向光刻机浸没系统设计的介观尺度流场扰动解析与抑制方法研究
网址	http://dx.doi.org/10.27157/d.cnki.ghzku.2021.006550
DOI	10.27157/d.cnki.ghzku.2021.006550 doi
求助人	群星闪耀03 在 2026-05-26 12:42:27 发布自宁夏，悬赏 50 积分
下载

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

3个月前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】
3个月前

群星闪耀03 Lv7 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 小小的应助被罗添龙采纳，获得30

27秒前; 糊涂的电话完成签到，获得积分10

44秒前; Evy完成签到，获得积分10

1分钟前; 认真太阳完成签到，获得积分10

1分钟前; Evy发布了新的文献求助30

1分钟前; 罗添龙完成签到，获得积分10

1分钟前; 痴情的皮皮虾完成签到，获得积分10

1分钟前; 苹果元灵完成签到，获得积分10

1分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 小二郎的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得20

1分钟前; 脑洞疼的应助被jane采纳，获得10

2分钟前; 谦让的沛芹完成签到，获得积分10

2分钟前; 美丽小虾米完成签到，获得积分10

2分钟前; 朝花惜拾完成签到，获得积分10

2分钟前; 清爽笙完成签到，获得积分10

2分钟前; yyd完成签到，获得积分10

2分钟前; 脑洞疼上传了应助文件

2分钟前; jane发布了新的文献求助10

2分钟前; 贪玩醉薇完成签到，获得积分10

3分钟前; DW上传了应助文件

3分钟前; 荷兰香猪发布了新的文献求助10

3分钟前; FAQ完成签到，获得积分10

3分钟前; 幸福慕灵完成签到，获得积分10

3分钟前; 荷兰香猪完成签到，获得积分10

3分钟前; 潇洒的凌兰完成签到，获得积分10

3分钟前; MchemG的应助被科研通管家采纳，获得40

3分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 魔幻的松思完成签到，获得积分10

4分钟前; 研友_惊鸿关闭了研友_惊鸿的文献求助

4分钟前; 默默无闻完成签到，获得积分10

4分钟前; 欢呼的听枫完成签到，获得积分10

4分钟前; 失眠的惜海完成签到，获得积分10

4分钟前; 云霓完成签到，获得积分10

4分钟前; 忧虑的如雪完成签到，获得积分10

4分钟前; 闪闪书蕾完成签到，获得积分10

5分钟前; molihuakai的应助被雪山冰川采纳，获得10

5分钟前