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标题
Free-standing spectral purity filters for extreme ultraviolet lithography
用于极紫外光刻的独立式光谱纯度滤光片
相关领域
极紫外光刻 材料科学 平版印刷术 极端紫外线 制作 紫外线 光学 光电子学 钨 光刻 激光器 冶金 医学 物理 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.11.2.021115
DOI
10.1117/1.jmm.11.2.021115 doi
其它 期刊：Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems
作者：Н. И. Чхало; М. Н. Дроздов; Evgeny B. Kluenkov; A. Ya. Lopatin; В. И. Лучин; et al
出版日期：2012-05-31
求助人
QRE 在 2025-08-14 18:46:36 发布自北京，悬赏 20 积分
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