Inductively coupled plasma etching of III–V antimonides in BCl3/Ar and Cl2/Ar

已完结

文献求助详情

标题	Inductively coupled plasma etching of III–V antimonides in BCl3/Ar and Cl2/Ar BCl_3/Ar和Cl_2/Ar中Ⅲ-Ⅴ族锑化物的电感耦合等离子体刻蚀相关领域溅射等离子体蚀刻（微加工）感应耦合等离子体等离子体刻蚀分析化学（期刊）材料科学反应离子刻蚀化学图层（电子）薄膜纳米技术色谱法量子力学物理
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-abstract/17/3/965/46689...
DOI	10.1116/1.590678 doi
求助人	小小在 2025-07-21 11:24:00 发布自美国，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 大模型的应助被惠小之采纳，获得10

1秒前; 大力的百合完成签到，获得积分20

2秒前; 领导范儿上传了应助文件

2秒前; 树下发布了新的文献求助10

2秒前; 小贺完成签到，获得积分10

4秒前; 搞怪的逍遥发布了新的文献求助30

4秒前; MchemG的应助被皮念寒采纳，获得10

4秒前; 田様上传了应助文件

6秒前; LiuJ上传了应助文件

7秒前; 万能图书馆的应助被Flipped采纳，获得10

7秒前; CodeCraft上传了应助文件

7秒前; 张3发布了新的文献求助20

7秒前; Hover完成签到，获得积分0

8秒前; Orange的应助被学术学习采纳，获得10

8秒前; 三金完成签到，获得积分10

10秒前; kk的应助被树下采纳，获得10

10秒前; 脑洞疼的应助被小丸子采纳，获得10

11秒前; 勤劳影子发布了新的文献求助10

11秒前; yyds发布了新的文献求助10

11秒前; 风清扬上传了应助文件

12秒前; shuogesama发布了新的文献求助10

12秒前; bhappy21发布了新的文献求助10

12秒前; 搞怪的逍遥完成签到，获得积分20

14秒前; Akim上传了应助文件

14秒前; 脑洞疼上传了应助文件

15秒前; 完美世界的应助被明亮的藏花采纳，获得10

16秒前; Rondab上传了应助文件

17秒前; 落寞慕晴发布了新的文献求助10

17秒前; 烟花的应助被现代雪晴采纳，获得10

17秒前; 勤劳影子完成签到，获得积分10

18秒前; luckyyhy完成签到，获得积分10

19秒前; Orange上传了应助文件

20秒前; 博修发布了新的文献求助30

20秒前; 濮阳映萱发布了新的文献求助10

20秒前; Liyipu完成签到，获得积分10

21秒前; Rondab上传了应助文件

22秒前; 六月完成签到，获得积分10

22秒前; 大模型上传了应助文件

22秒前; 烟花上传了应助文件

23秒前; JY发布了新的文献求助10

24秒前