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Extreme ultraviolet lithography: A review
极紫外光刻技术研究进展
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极紫外光刻 平版印刷术 极端紫外线 抵抗 多重图案 材料科学 下一代光刻 浸没式光刻 光学 计量学 光电子学 工程物理 纳米技术 工程类 物理 激光器 电子束光刻 图层(电子)
网址
DOI
10.1116/1.2794048 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science & technology
作者:Banqiu Wu; Ajay Kumar
出版日期:2007-10-11
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依依 在 2025-07-21 10:28:34 发布自广东,悬赏 10 积分
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