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Spectroscopic Ellipsometry of 3C-SiC Thin Films Grown on Si Substrates Using Organosilane Sources 利用有机硅烷源在Si衬底上生长3C-SiC薄膜的椭偏光谱研究
相关领域
二硅烷
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Naoki Kubo; Akihiro Moritani; Kuninori Kitahara; Shuichi Asahina; Nobuyuki Kanayama; et al 出版日期:2005-06-01 |
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