发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Inverse lithography OPC correction with multiple patterning and etch awareness
相关领域
光学接近校正 平版印刷术 抵抗 光刻 多重图案 薄脆饼 计算机科学 材料科学 反向 过程（计算） 进程窗口 蚀刻（微加工） 极紫外光刻 光电子学 电子工程 图层（电子） 纳米技术 工程类 数学 操作系统 几何学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2297368
DOI
10.1117/12.2297368 doi
其它 期刊：
作者：Heon Jin Choi; Ayman Hamouda
出版日期：2018-03-20
求助人
路客 在 2025-10-27 10:56:35 发布自广东，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Pushing the lithography limit: applying inverse lithography technology (ILT) at the 65nm generation
  2. ILT optimization of EUV masks for sub-7nm lithography
  3. Comparison study for 3x-nm contact hole CD uniformity between EUV lithography and ArF immersion doub...
  4. Patterning challenges of EUV lithography for 1X-nm node DRAM and beyond
  5. Extension of 193 nm dry lithography to 45-nm half-pitch node: double exposure and double processing ...
  6. Single-expose patterning development for EUV lithography
  7. State-of-the-art of EUV materials for N5 logic and DRAM applications
  8. Wafer topography proximity effect modeling and correction for implant layer patterning
  9. EUV defect characterization study on post litho and etch for 1x and 2x node processes
  10. Challenges and solutions of few-line patterns with freeform illumination in immersion lithography
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 5小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:56:37 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:56:35 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
    10:56:35 已向机器人发送请求

  • 5小时前

    路客 路客 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
刚刚
雨晗发布了新的文献求助10
刚刚
零九二一发布了新的文献求助10
1秒前
lise发布了新的文献求助10
1秒前
活泼初南发布了新的文献求助10
1秒前
咻咻发布了新的文献求助20
1秒前
Rocky_Qi发布了新的文献求助10
2秒前
zbl发布了新的文献求助10
2秒前
3秒前
稻草人发布了新的文献求助10
3秒前
αβ发布了新的文献求助10
3秒前
wanci的应助被乐观帅哥采纳，获得10
3秒前
orixero的应助被Cssss采纳，获得10
4秒前
隐形曼青的应助被Cssss采纳，获得10
4秒前
搜集达人的应助被Cssss采纳，获得10
4秒前
所所的应助被Cssss采纳，获得10
4秒前
善学以致用的应助被Cssss采纳，获得10
4秒前
4秒前
汉堡包的应助被Cssss采纳，获得10
4秒前
田様的应助被Cssss采纳，获得10
4秒前
科目三的应助被Cssss采纳，获得10
4秒前
4秒前
Lucas的应助被Nancy采纳，获得10
4秒前
5秒前
5秒前
脑洞疼的应助被Octopus采纳，获得50
5秒前
5秒前
orixero的应助被高高采纳，获得10
5秒前
5秒前
6秒前
Bear完成签到，获得积分10
6秒前
小马甲的应助被Lynn采纳，获得20
7秒前
7秒前
温暖南莲发布了新的文献求助10
7秒前
坚定尔白发布了新的文献求助20
7秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
7秒前
smile发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
西西发布了新的文献求助10
8秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500
Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition 1000
青少年心理适应性量表(APAS)使用手册 700
Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700
Socialization In The Context Of The Family: Parent-Child Interaction 600
DESIGN GUIDE FOR SHIPBOARD AIRBORNE NOISE CONTROL 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4989850
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4239032
关于积分的说明 13205011
捐赠科研通 4033315
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2206612
邀请新用户注册赠送积分活动 1217835
关于科研通互助平台的介绍 1135999
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通