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 Design of a Long Stroke Nanopositioning Stage With Self-Damping Actuator and Flexure Guide 具有自阻尼执行器和柔性导轨的长行程纳米定位台的设计
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期刊：IEEE Transactions on Industrial Electronics 作者：Chi Zhang; Xiaolu Huang; Miao Yang; Silu Chen; Guilin Yang 出版日期：2021-11-19 |
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