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 A Chip-Scale GaN-Based Optical Pressure Sensor With Microdome-Patterned Polydimethylsiloxane (PDMS) 微圆顶图案聚二甲基硅氧烷(PDMS)芯片级GaN基光学压力传感器
相关领域
聚二甲基硅氧烷
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Xiaoshuai An; Yumeng Luo; Binlu Yu; Liang Chen; Kwai Hei Li 出版日期：2021-08-09 |
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