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 Influence of Composition of SiCN Film for Surface Activated Bonding SiCN膜成分对表面活性键合的影响
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期刊：ECS Transactions 作者：Fumihiro Inoue; Lan Peng; Serena Iacovo; Alain Phommahaxay; Jakob Visker; et al 出版日期：2018-09-22 |
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