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标题
Improved Epilayer Surface Morphology on 2˚ Off-Cut 4H-SiC Substrates
2˚切边4H-SiC衬底上外延层表面形貌的改善
相关领域
材料科学 形态学（生物学） 蚀刻（微加工） 硅烷 氢 大气（单位） 原位 干法蚀刻 光电子学 化学工程 分析化学（期刊） 复合材料 图层（电子） 化学 有机化学 工程类 物理 热力学 生物 遗传学 色谱法
网址
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.206
DOI
10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.206 doi
其它 期刊：Materials science forum
作者：Louise Lilja; Jawad Ul‐Hassan; Erik Janzén; J. P. Bergman
出版日期：2014-02-26
求助人
xmuchem 在 2025-10-03 02:42:19 发布自中国台湾，悬赏 30 积分
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