Improved Epilayer Surface Morphology on 2˚ Off-Cut 4H-SiC Substrates

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标题	Improved Epilayer Surface Morphology on 2˚ Off-Cut 4H-SiC Substrates 2˚切边4H-SiC衬底上外延层表面形貌的改善相关领域材料科学形态学（生物学）蚀刻（微加工）硅烷氢大气（单位）原位干法蚀刻光电子学化学工程分析化学（期刊）复合材料图层（电子）化学遗传学生物物理有机化学色谱法工程类热力学
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.206
DOI	10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.206 doi
其它	期刊：Materials science forum 作者：Louise Lilja; Jawad Ul‐Hassan; Erik Janzén; J. P. Bergman 出版日期：2014-02-26
求助人	xmuchem 在 2025-10-03 02:42:19 发布自中国台湾，悬赏 30 积分
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