发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Influence of the vibration of extreme ultraviolet lithographic tool stages on imaging
相关领域
十字线 极紫外光刻 光学 平版印刷术 薄脆饼 极端紫外线 振动 抵抗 临界尺寸 材料科学 光刻 X射线光刻 浸没式光刻 光电子学 物理 声学 纳米技术 激光器 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1364/oe.493210
DOI
10.1364/oe.493210 doi
其它 期刊：Optics Express
作者：Hao Shen; Libin Zhang; Yayi Wei; Shuang Liu
出版日期：2023-06-05
求助人
诺索 在 2025-09-30 16:12:01 发布自中国，悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，让科研之路畅通无阻
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Edwin发布了新的文献求助10
1秒前
Zongpeng发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
supersunshine完成签到，获得积分10
2秒前
大模型的应助被布丁采纳，获得10
2秒前
3秒前
3秒前
灵兰QAQ完成签到，获得积分10
3秒前
屿念梦完成签到，获得积分10
3秒前
Edward发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
忆梦发布了新的文献求助10
4秒前
Owen的应助被ddw采纳，获得10
5秒前
SEASON完成签到，获得积分10
5秒前
6秒前
6秒前
染东完成签到，获得积分10
6秒前
7秒前
情怀的应助被bless采纳，获得10
7秒前
淡然钢笔发布了新的文献求助10
7秒前
虚心幼翠完成签到，获得积分10
8秒前
8秒前
勤恳菠萝发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
9秒前
10秒前
在水一方的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
小辰完成签到，获得积分10
10秒前
完美世界的应助被科研通管家采纳，获得10
10秒前
10秒前
10秒前
善学以致用的应助被科研通管家采纳，获得200
10秒前
10秒前
tuanheqi的应助被科研通管家采纳，获得150
10秒前
科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10
11秒前
一一的应助被科研通管家采纳，获得10
11秒前
11秒前
豆豆发布了新的文献求助10
11秒前
烟花的应助被科研通管家采纳，获得10
11秒前
科研通AI6的应助被科研通管家采纳，获得10
11秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
HIGH DYNAMIC RANGE CMOS IMAGE SENSORS FOR LOW LIGHT APPLICATIONS 1500
Constitutional and Administrative Law 1000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.). Frederic G. Reamer 800
Holistic Discourse Analysis 600
Vertébrés continentaux du Crétacé supérieur de Provence (Sud-Est de la France) 600
Vertebrate Palaeontology, 5th Edition 530
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5351484
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4484581
关于积分的说明 13959628
捐赠科研通 4384162
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2408799
邀请新用户注册赠送积分活动 1401373
关于科研通互助平台的介绍 1374874
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通