| 标题 |  Self-Aligned Thin-Film Patterning by Area-Selective Etching of Polymers 相关领域 
                                                                                                                                    
                                                                        
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                                                                            薄膜                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            聚合物                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            蚀刻(微加工)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            聚酰亚胺                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
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                                                                            平版印刷术                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            干法蚀刻                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            甲基丙烯酸甲酯                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            化学工程                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            图层(电子)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            光电子学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            聚合                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            复合材料                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            工程类                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                 | 
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| DOI | |
| 其它 | 期刊:Coatings 作者:Chao Zhang; Markku Leskelä; Mikko Ritala 出版日期:2021-09-16 | 
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