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 Development of a new MEMS resonant differential pressure sensor with high accuracy and high stability 一种新型高精度高稳定性MEMS谐振式差压传感器的研制
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期刊：Measurement 作者：Chao Cheng; Yulan Lu; Jiahui Yao; Jian Chen; Deyong Chen; et al 出版日期：2023-12-29 |
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