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 A model for the temperature-dependent adsorption kinetics of SiH4 on Si(100) SiH4在Si(100)上温度相关吸附动力学模型
相关领域
吸附
硅烷
动力学
解吸
化学
氢
硅烷
材料科学
化学工程
物理化学
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物理
量子力学
工程类
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| 其它 |
期刊：Applied surface science 作者：Maki Suemitsu; Ki Joon Kim; Hiroyuki Nakazawa; Nobuo Miyamoto 出版日期：1996-11-01 |
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